特許

J-GLOBAL ID：200903016737756415

レーザー耐久性評価方法

発明者： 谷 裕久
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-314065
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148883
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】 精度の良い光学素子のレーザー耐久性評価方法を提供する。【解決手段】薄膜が形成されたサンプルに光を照射したときの光吸収に起因するサンプルの体積変化により発生する音響信号と、前記サンプルに光を照射したときに生じる散乱信号とを、一定照射光強度で照射し続けながら同時に計測し、その変動を用いて行うレーザー耐久性評価方法。

請求項（抜粋）：

薄膜が形成されたサンプルに光を照射したときの光吸収に起因するサンプルの体積変化により発生する音響信号と、前記サンプルに光を照射したときに生じる散乱信号とを、一定照射光強度で照射し続けながら同時に計測し、その変動を用いて行うレーザー耐久性評価方法。

IPC (5件)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/49 ,  G01N 25/72 ,  G01N 29/00 501

FI (5件)：

G01M 11/00 T ,  G01N 21/00 A ,  G01N 21/49 A ,  G01N 25/72 Z ,  G01N 29/00 501