自立型走査吸着機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古澤俊明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026237
公開番号（公開出願番号）：特開平6-218679
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】行動範囲の制限が少なく、負圧発生部で発生する負圧の伝送効率の良い壁面歩行装置である。【構成】複数の吸盤4に順次負圧を供給して吸着力を発生せしめる吸着部1と、この吸着部1に負圧を供給するダイヤフラム真空ポンプ8とを一体に構成する。また、具体的には、ロッド11と偏芯クランク軸10を介してダイアフラム真空ポンプ8をモータ14に結合し、このダイアフラム真空ポンプ8の吸気側をマニホールドチャンバー3に結合し、常閉の弁体5を介してこのマニホールドチャンバー3を複数の吸盤4に結合し、マニホールドチャンバー3内に前記弁体5を順次開放・閉鎖するカム7を設け、このカム7の駆動源として前記モータ14を結合する。

請求項（抜粋）：