特許
J-GLOBAL ID：200903016739711532
マイクロレーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-329893
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160728
出願日： 1992年11月17日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 機械的走査をしない、小型・軽量な、且つ被検物体を観察しながら走査又は加工が可能なマイクロレーザ装置を提供することである。【構成】 観察用レーザダイオードアレイから放射される観察光を逐次放射して走査し、撮像素子の画素で逐次受光して観察し、操作用レーザダイオードアレイから放射される操作光を位相同期して同時発光して変調偏向することにより操作又は加工を行う。
請求項（抜粋）：
所定の平面上に配列された多数のレーザ発光素子を有する第1及び第2の面発光型光源手段と、前記第1の面発光型光源手段からの第1光束を被検物体面に集光する照明光学手段と、前記第2の面発光型光源手段からの第2光束を被検物体面に集光する光学手段と、前記被検物体面からの第1光束を所定の像面上に集光する対物光学手段と、前記対物光学手段の像面上に配置された多数の受光素子を有する2次元撮像手段と、前記第1の面発光型光源手段のレーザ発光素子を時系列的に発光させると共に、前記レーザ発光素子と互いに共役な前記2次元撮像手段上の受光素子を順次受光可能とする制御手段とを備えることを特徴とするマイクロレーザ装置。
IPC (5件)：
G02B 21/32
, B25J 11/00
, G02B 27/00
, H01S 3/00
, H01S 3/18
