特許

J-GLOBAL ID：200903016739802902

表面弾性波素子

発明者： 江田 和生 ,  田口 豊 ,  大西 慶治 ,  関 俊一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-318029
公開番号（公開出願番号）：特開平6-237142
出願日： 1993年12月17日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】 高周波特性、特に共振周波数が高くても、損失が少なく共振のQに優れ、耐電力特性および温度特性、機械的信頼性、耐焦電性に優れた小型表面弾性波素子を提供する。【構成】 凹部に櫛形電極4を有する支持基板1と、平板状圧電基板3または櫛形電極4を有する平板状支持基板と凹部を有する圧電基板、または櫛形電極4を有する平板状支持基板1と平板状圧電基板3とスペーサからなり、櫛形電極4が圧電基板表面に均一に接するよう配置されているか、または凹部の深さまたはスペーサの高さおよび櫛形電極4の厚みが、櫛形電極4が圧電基板表面近傍にあって、かつ直接触れないだけの空隙をあけて構成されるように設定され、かつ圧電基3板と支持基板1の固定が、直接接合により行われて、櫛形電極4と平板状圧電基板3が対向するように配置されている。

請求項（抜粋）：

支持基板と、圧電基板と、支持基板上に形成された櫛形電極と、該櫛形電極と均一に接するように該圧電基板を該支持基板上に保持するための保持手段とを有する表面弾性波素子。