窒化アルミニウム質基板及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165888
公開番号（公開出願番号）：特開平6-032686
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【目的】メッキ層中のボイドを最小限に抑制することができる窒化アルミニウム質基板及びその製造方法を提供する。【構成】高融点金属中に窒化アルミニウムが分散したメタライズ層と、メッキ層とが順次積層された窒化アルミニウム質基板であって、前記メタライズ層のメッキ層側の表面には窒化アルミニウムが実質上存在しないか、若しくは、最大径が2μm以下の窒化アルミニウムが存在する。

請求項（抜粋）：

高融点金属中に窒化アルミニウムが分散したメタライズ層と、メッキ層とが順次積層された窒化アルミニウム質基板であって、前記メタライズ層のメッキ層側の表面には窒化アルミニウムが実質上存在しないか、若しくは、最大径が2μm以下の窒化アルミニウムが存在することを特徴とする窒化アルミニウム質基板。

IPC (4件)：

C04B 41/89 , C04B 35/58 104 , C04B 41/88 , H01L 23/14

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭49-104904
特開平3-036282
特開昭53-142327

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