特許

J-GLOBAL ID：200903016760087520

受光素子検査装置

発明者： 境 一志 ,  波江野 誠
出願人/特許権者： サンクス株式会社
代理人 (1件)： 後呂 和男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-297756
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107124
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】 受光素子に投射された光の位置にずれがあっても安定した検査を行うことができる受光素子検査装置を提供する。【解決手段】 レーザダイオード20から出射された光をコリメータレンズ21で平行光とした後に、フライアイレンズ22に入射する。レーザダイオード20からのレーザ光がフライアイレンズ22を通過すると、その光軸の横断面についての強度分布が平坦化される。この光が、集束レンズ23によって集束されてガルバノスキャナ13で受光素子群12の任意の受光素子12A上に平坦な強度を有する光として照射される。

請求項（抜粋）：

光を出射する光照射手段と、受光素子が複数個配列された受光素子群の各受光素子に対して前記光が投射されるように前記光の方向を変更する光方向変更手段と、前記光が照射された前記受光素子からの受光信号に基づいて前記受光素子の良否を判断する検査手段とを備えた受光素子検査装置において、前記光照射手段は、光を発光する発光手段と、前記発光手段からの光の強度分布を平坦化する光拡散手段と、前記光拡散手段を通過した光を集束させる光集束手段とを備えることを特徴とする受光素子検査装置。

IPC (4件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/10

FI (4件)：

G01R 31/26 F ,  H01L 21/66 X ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/10 Z

Fターム (16件)：

2G003AA06 ,  2G003AG16 ,  2G003AH02 ,  4M106AA02 ,  4M106AA04 ,  4M106BA05 ,  4M106CA17 ,  4M106DH32 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39 ,  4M118AA09 ,  4M118CA02 ,  4M118EA11 ,  4M118GD03 ,  5F049MA01 ,  5F049NA20