特許

J-GLOBAL ID：200903016767760310

弾性表面波装置及びその製造方法

発明者： 勝田 洋彦
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-059269
公開番号（公開出願番号）：特開2000-261284
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 外形の占有面積の大きさが内蔵する弾性表面波素子とほぼ等しい、究極に小型化された表面実装可能な弾性表面波フィルタや振動子等の弾性表面波装置、及び、ウエハ状態でパッケージングまで行うことが可能で量産性に優れた製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 圧電基板1上に保護カバー4で覆った励振電極2及び該励振電極2に接続される入出力パッド3a,3bを形成し、各入出力パッド上に柱状電極5を立設するとともに、少なくとも柱状電極5の外周部を絶縁体6で包囲して成り、柱状電極5の上端部を電気信号の入出力端子としたことを特徴とする弾性表面波装置Sとする。

請求項（抜粋）：

圧電基板上に保護カバーで覆った励振電極及び該励振電極に接続される入出力パッドを形成し、各入出力パッド上に柱状電極を立設するとともに、少なくとも前記柱状電極の外周部を絶縁体で包囲して成り、前記柱状電極の上端部を電気信号の入出力端子としたことを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 3/08

FI (2件)：

H03H 9/25 A ,  H03H 3/08

Fターム (17件)：

5J097AA29 ,  5J097AA31 ,  5J097AA33 ,  5J097BB11 ,  5J097DD25 ,  5J097EE05 ,  5J097EE08 ,  5J097FF01 ,  5J097GG03 ,  5J097HA02 ,  5J097HA04 ,  5J097HA07 ,  5J097JJ06 ,  5J097JJ07 ,  5J097JJ09 ,  5J097KK09 ,  5J097KK10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 電子部品とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-053102   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-120810
  
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-277357   出願人：株式会社村田製作所