磁気ディスク用基板のテクスチャ加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠部正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-166653
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357322
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】簡単な調整法でディスク基板の面振れを抑え、高精度なテクスチャ加工を再現性よく実現できるようにテクスチャ加工装置を改良する。【解決手段】ディスク基板1の内周をスピンドル軸5のチャック5aにクランプし、基板を回転させながら表面に研磨テープを押し付けてテクスチャを付与する加工装置において、基板の面振れ修正用治具7として、ディスク基板の外周縁部と対向する正三角形の各頂点位置にマイクロメータヘッド12と組合せた主クランプロッド10,およびスプリング14で付勢した補助クランプロッド11を配備して基板を両側から押さえ込むようにし、ここでテクスチャ加工に先立ちディスク基板をスピンドル軸に装着した状態で基板を回転しながら面振れ量を測定した後、マイクロメータヘッドの調整により主クランプロッドをディスク基板に押し当てて面振れを修正し、さらに反対側から補助クランプロッドを押し当てて挟持し、この状態でテクスチャ加工を行う。

請求項（抜粋）：

磁気記録媒体のディスク基板上に形成した下地層に対し、その表面に微細な表面粗さを付与するための磁気ディスク用基板のテクスチャ加工装置であり、ディスク基板の内周をスピンドル軸にクランプし、ディスク基板を回転させながらその表面に研磨テープを押し付け、かつ研磨液をディスク/テープ間に滴下してテクスチャ加工を行うようにしたものにおいて、前記スピンドル軸の周域に分散してディスク基板の外周縁との対向位置に面振れ修正用治具を配備し、テクスチャ加工に先立ち、ディスク基板をスピンドル軸に装着した状態で基板を回転しながら測定した面振れ量を修正するよう前記面振れ修正用治具をディスク基板に押し当て、この状態を保持してテクスチャ加工を行うようにしたことを特徴とする磁気ディスク用基板のテクスチャ加工装置。

IPC (2件)：

G11B 5/84 , B24B 21/00

FI (2件)：

G11B 5/84 Z , B24B 21/00 B

Fターム (15件)：

3C058AA05 , 3C058AA09 , 3C058AB09 , 3C058AC02 , 3C058BA07 , 3C058BB03 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 5D112AA02 , 5D112AA11 , 5D112AA24 , 5D112GA02 , 5D112GA13 , 5D112JJ06 , 5D112KK01

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