特許

J-GLOBAL ID：200903016778805803

荷電粒子描画装置の図形分解装置

発明者： 川野 雅道
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-065512
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267132
出願日： 1992年03月24日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 底角が任意角の台形図形や複雑な曲線図形を高速に描画することのできる荷電粒子描画装置の図形分解装置を提供する。【構成】 入力図形データを底角が45°の整数倍の基本台形図形に分解する従来のデータ変換装置3の他に、入力図形データを底角が任意角の台形図形に分解するデータ変換手段を設けてこれを底角が45°の整数倍の基本台形図形に分解する高速DSP等の任意角処理プロセッサ16を荷電粒子描画装置5内に設けるようにする。さらに、上記データ変換手段は上記底角の値をパラメ-タとして出力し、上記任意角処理プロセッサ16は上記パラメ-タにより上記底角が任意角の台形図形を上記底角が45°の整数倍の基本台形図形に分解するようにする。

請求項（抜粋）：

LSIパタ-ン等を形成するCADフォ-マットの図形デ-タを予め決められたフォ-マットにしたがって基本図形デ-タに変換してLSI描画装置に入力するデ-タ変換装置と、上記基本図形デ-タを図形分解回路によりドットまたは矩形の集合に分解して荷電ビ-ムにより試料上に露光する荷電粒子描画装置の図形分解装置において、上記基本図形(円、楕円、多角形等)以外の上記図形分解回路では分解できない図形デ-タを基本図形に分解する高速変換回路と、上記高速変換回路の出力を選択する切り替え手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子描画装置の図形分解装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-083329
  
• 特開平3-270216
  
• 特開昭62-154729