特許
J-GLOBAL ID：200903016796208871
帯電電位の評価方法及び評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
野▲崎▼ 照夫
, 三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-110847
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317264
出願日： 2003年04月15日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】イオナイザーが中和する対象被測定物の表面電荷によってこの被測定物に生じる電位差Vhを推測する帯電電位の評価方法及び評価装置を提供する。【解決手段】CPM3の電位差Vcの測定値を以下の数式1を用いて、HGAの導電パターン及びロードビーム間の電位差Vhに換算する。【数1】ここで、dhは前記HGAの導電パターン及びロードビーム間の距離、dcはCPM3の導電性プレートと前記アース面間の距離、εhは前記HGAの絶縁下地層の比誘電率、εcはCPM3の導電性プレートとアース面の間の領域の比誘電率を示している。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
(a)誘電体を挟んで対向する第1導電体及び第2導電体を有する被測定物の、前記誘電体の比誘電率の値および前記一対の導電体間の距離を取得するステップ、
(b)所定の雰囲気において、アース面に所定距離を空けて対面する導電性プレートの電位Vcを測定するステップ、
(c)以下の数1を用いて、前記雰囲気における前記被測定物の前記第1導電体及び第2導電体間の電位差Vhを換算するステップ、
を有することを特徴とする帯電電位の評価方法、
IPC (5件)：
G01N27/60
, G11B5/39
, H01L43/08
, H01T23/00
, H05F3/04
G01N27/60 A
, G11B5/39
, H01L43/08 Z
, H01T23/00
, H05F3/04 A
5D034CA07
, 5G067DA01
, 5G067DA11
, 5G067EA01
