特許

J-GLOBAL ID：200903016796593082

光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法

発明者： 登 道男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-006939
公開番号（公開出願番号）：特開2006-196715
出願日： 2005年01月13日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：

【課題】 光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成する。【解決手段】 入射光束に基づいて所定面に所定の光強度分布を形成するための光束変換素子は、所定の偏光状態を有する入射光束を第1の偏光状態を有する射出光束に変換する第1の構造性複屈折領域と;所定の偏光状態を有する入射光束を前記第1の偏光状態とは異なる第2の偏光状態を有する射出光束に変換する第2の構造性複屈折領域と;前記第1の構造性複屈折領域に対応して設けられて、前記入射光束を前記所定面上の第1の領域へ導く第1手段と;前記第2の構造性複屈折領域に対応して設けられて、前記入射光束を前記所定面上の第2の領域へ導く第2手段と;を備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

入射光束に基づいて所定面に所定の光強度分布を形成するための光束変換素子において、 所定の偏光状態を有する入射光束を第1の偏光状態を有する射出光束に変換する第1の構造性複屈折領域と、 所定の偏光状態を有する入射光束を前記第1の偏光状態とは異なる第2の偏光状態を有する射出光束に変換する第2の構造性複屈折領域と、 前記第1の構造性複屈折領域に対応して設けられて、前記入射光束を前記所定面上の第1の領域へ導く第1手段と、 前記第2の構造性複屈折領域に対応して設けられて、前記入射光束を前記所定面上の第2の領域へ導く第2手段とを備えることを特徴とする光束変換素子。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/30 ,  G02B 27/09

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G02B5/30 ,  G02B27/00 E

Fターム (10件)：

2H049BA05 ,  2H049BA45 ,  2H049BB01 ,  2H049BB02 ,  2H049BC21 ,  5F046BA04 ,  5F046CB13 ,  5F046CB15 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3246615号公報