特許

J-GLOBAL ID：200903016797798966

表面画像生成方法及び装置

発明者： ユルゲン フロージエン
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-094086
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329541
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 局部的荷電効果の影響を最小化することによって表面画像生成方法及び装置を改善することである。【解決手段】 表面画像生成方法及び装置は、表面を1次粒子線によって走査し、表面から放出された2次粒子又は後方散乱粒子を検出器によって検出する。画像化すべき表面の領域に、表面の電位を一定に保持するために可変電圧が印加されるように構成された電極装置が設けられ、可変電圧は表面の画像を生成するために使用される。

請求項（抜粋）：

試験片の表面を1次粒子線によって走査することと、上記表面から放出された2次粒子又は後方散乱粒子を検出器によって検出することを含む表面画像生成方法において、画像化すべき上記表面の領域に、上記表面の電位を一定に保持するために可変電圧が印加されるように構成された電極装置が設けられ、上記可変電圧は上記表面の画像を生成するために使用されることを特徴とする表面画像生成方法。

IPC (6件)：

G01B 15/00 ,  G01B 15/04 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28

FI (6件)：

G01B 15/00 B ,  G01B 15/04 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 H ,  H01J 37/22 502 F ,  H01J 37/28 B