特許
J-GLOBAL ID:200903016798728708

観察、撮像装置などの照明装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川崎 隆夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-129282
公開番号(公開出願番号):特開平5-297281
出願日: 1992年04月23日
公開日(公表日): 1993年11月12日
要約:
【要約】【目的】 観察対象としての被験体試料の被観察部表面が、比較的微細な凹凸を有する形状であっても、当該被観察部表面の個々の観察目的に対応した照明を行ない得るようにする。【構成】 被験体試料の被観察部表面に対し、落射光を主体とする明視野照明、ならびに側射光を主体とする暗視野照明による個々の各照明像の観察と、これらの各明視野照明、および暗視野照明が合成された態様での照明像の観察とのそれぞれを併せて、簡略化された同一の装置構成内で切り換えて行ない得るように構成する。
請求項(抜粋):
少なくとも筒状胴部の内部中心光軸に沿う下端部に、被験体試料の被観察部表面に対面させる対物開口面を形成させ、当該筒状胴部の内部下方に光軸を中心とする導光筒体を設け、前記対物開口面での中心部範囲内に明視野エリア、中心部範囲外の周囲部範囲内に暗視野エリアをそれぞれに設定区分させた本体鏡筒を有しており、前記筒状胴部の上方には、光量調整された明視野照明光を導入する明視野光導入開口を形成させ、かつ当該明視野光導入開口に対応した内部の中心光軸上に、導入される明視野照明光を反射して前記導光筒体の内部から明視野エリアに落射投光させ、被観察部表面を平面的に照明する半透明反射鏡を設けると共に、前記筒状胴部の下方には、光量調整された暗視野照明光を導入する暗視野光導入開口を形成させ、かつ当該暗視野光導入開口に対応した内部の前記導光筒体の外周面上に、導入される暗視野照明光を反射して前記導光筒体と筒状胴部間の内部から暗視野エリアに落射させる第1の反射鏡、および当該筒状胴部の下端内周面に前記落射される暗視野照明光を反射して明視野エリア側に側射投光させ、被観察部表面を側面的に照明する第2の反射鏡を設け、観察された反射光を外部の観察部側に取り出し得るように構成し、必要に応じて、任意に光量調整された明視野照明光と暗視野照明光とによる照明、明視野照明光のみによる照明、暗視野照明光のみによる照明の何れかを選択利用し得るようにしたことを特徴とする観察、撮像装置などの照明装置。
IPC (2件):
G02B 21/06 ,  G02B 21/36
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭59-178421
  • 特開昭58-105208
  • 特開平2-242214

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