特許

J-GLOBAL ID：200903016805441118

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 武石 洋明 ,  岩本 和徳
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-134238
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316607
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】 ステージ装置の構成簡略化および信頼性向上を図る。【解決手段】 基準面に沿って移動可能なステージと、該ステージを移動させるための移動手段と、該ステージの位置を検出する非接触センサとを設け、該非接触センサが検出した該ステージの位置に応じて、該移動手段を作動させて該ステージを移動させ、原点出し動作を行う。

請求項（抜粋）：

基準面に沿って移動可能なステージと、該ステージを移動させるための移動手段と、該ステージの位置を検出する非接触センサとを有し、該非接触センサが検出した該ステージの位置に応じて、該移動手段を作動させて該ステージを移動させ、原点出し動作を行うことを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

G05D 3/12 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (7件)：

G05D 3/12 K ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 518