特許

J-GLOBAL ID：200903016811095590

酸素センサ素子の製造方法

発明者： 塩野 宏二 ,  木藤 共久
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274285
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099806
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 冷熱サイクルが繰り返された場合に、電極保護層にクラックが発生したり、電極保護層と電極との密着性が低下することに起因して発生する電極保護層の剥離を有効に抑制ないし防止することができる酸素センサ素子を製造する。【解決手段】 酸素センサ素子Sは、固体電解質体6と、その外側表面に設けられた多孔質の測定電極14と、少なくとも測定電極14表面を被覆した多孔質の電極保護層とを有している。電極保護層は、未熱処理状態にある測定電極14に、プラズマ電力を20〜35kWに保持させながら、平均粒径が20〜50μmに調整された耐熱性粉末供給装置2から耐熱性粉末をプラズマ溶射することで付着形成される。更にこのプラズマ溶射による電極保護層の付着と同時に測定電極14が熱処理される。それにより、冷熱サイクルが繰り返されても電極保護層にクラックが生じたり、電極からの電極保護層の剥離が生じにくい酸素センサ素子を製造できる。

請求項（抜粋）：

酸素イオン伝導性を有する固体電解質体と、該固体電解質体の表面に設けられた電極と、少なくとも該電極の表面に被覆された多孔質の電極保護層とを有してなる酸素センサ素子を製造する方法であって、前記固体電解質体の表面に電極を被着し、20〜35kWの範囲内にプラズマ電力を保持させた状態でプラズマ溶射を行うことによって、前記電極の表面に前記電極保護層を被覆するのと同時に、該電極を熱処理するようにしたことを特徴とする酸素センサ素子の製造方法。

Fターム (14件)：

2G004BB01 ,  2G004BC09 ,  2G004BD04 ,  2G004BE19 ,  2G004BE22 ,  2G004BE23 ,  2G004BE25 ,  2G004BF03 ,  2G004BF05 ,  2G004BF06 ,  2G004BF09 ,  2G004BG05 ,  2G004BL09 ,  2G004BM07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-203963
  
• 特開昭55-057145
  
• 特開昭56-160653
  
• 特開昭61-112957