特許
J-GLOBAL ID：200903016815538845
真空ポンプにおける圧力調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-290474
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137268
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】本発明は系における圧力調整範囲を拡大し、低流量、高圧力という条件下においても系の圧力調整を可能にした真空ポンプにおける圧力調整方法を提供することを目的とする。【構成】真空ポンプ14によって減圧状態に導かれるとともに、反応気体が連続的に導入される反応室11の圧力を調整する方法において、真空ポンプと反応室との間に反応気体とは別の気体を導入し、この気体の導入量を制御して反応室11の圧力を調整することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
真空ポンプによって減圧状態に導かれるとともに、反応気体が連続的に導入される系の圧力を調整する方法において、前記真空ポンプと前記系との間に前記反応気体とは別の気体を導入し、この気体の導入量を制御して前記系の圧力を調整することを特徴とする真空ポンプにおける圧力調整方法。
IPC (2件)：
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