特許

J-GLOBAL ID：200903016815552864

容量型機械電気変換素子の製造方法、及び容量型機械電気変換素子

発明者： 張 建六
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-057263
公開番号（公開出願番号）：特開2009-296569
出願日： 2009年03月11日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：

【課題】容量型機械電気変換素子において、電極間に設けられる犠牲層のエッチング速度を比較的高速且つ安定にできて、素子の生産性を向上する。【解決手段】容量型機械電気変換素子の製造方法において、基板4に第1の電極8を形成し、第1の電極8上に、第1の電極へ通じる開口部6が設けられた絶縁層9を形成し、絶縁層上に犠牲層を形成する。犠牲層上に、第2の電極1を備える振動膜3を形成し、振動膜に開口をエッチング液の入口として設ける。犠牲層をエッチングしてキャビティ10を形成し、エッチング液の入口としての開口を封止する。開口部6と犠牲層と振動膜の開口を介して、第1の電極8と外部に設けた対向電極との間で通電する電解エッチングを行なってエッチングを実行する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に第1の電極を形成し、該第1の電極の上に、該第1の電極へ通じる開口部が設けられた絶縁層を形成し、該絶縁層の上に犠牲層を形成し、該犠牲層の上に、第2の電極を備える振動膜を形成し、外部から前記犠牲層に通じる開口をエッチング液の入口として設け、前記犠牲層をエッチングしてキャビティを形成し、前記エッチング液の入口としての開口を封止する容量型機械電気変換素子の製造方法であって、 前記開口部と前記犠牲層と前記開口を介して、前記第1の電極と外部に設けた対向電極との間で通電する電解エッチングを行なって前記エッチングを実行することを特徴とする容量型機械電気変換素子の製造方法。

IPC (4件)：

H04R 31/00 ,  B81C 1/00 ,  H04R 19/00 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

H04R31/00 C ,  B81C1/00 ,  H04R19/00 330 ,  H01L29/84 Z

Fターム (39件)：

3C081AA18 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081BA72 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA22 ,  3C081CA26 ,  3C081CA28 ,  3C081CA29 ,  3C081DA02 ,  3C081DA05 ,  3C081DA26 ,  3C081DA29 ,  3C081DA30 ,  3C081DA45 ,  3C081EA21 ,  4M112AA06 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA11 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112DA11 ,  4M112EA02 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20 ,  5D019AA26 ,  5D019DD01 ,  5D019HH01