特許

J-GLOBAL ID：200903016815709224

分光計

発明者： 鈴木 徹
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295320
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116618
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 回折格子を用いて複数のスペクトル線を高分解能で計測することのできる分光計を提供する。【解決手段】 コリメートレンズ16からの平行光はホログラフィックグレーティング18によって回折され、この回折された回折光(第1の回折光)はエシェルグレーティング19に入射する。この第1の回折光はリトロ配置されているエシェルグレーティング19によって回折され、この回折された回折光(第2の回折光)は再びホログラフィックグレーティング18に入射する。この第2の回折光は、ホログラフィックグレーティング18によって回折され、この回折された回折光(第3の回折光)は、コリメートレンズ16に戻り、ミラー15で反射されてセンサ17に集光する。

請求項（抜粋）：

波長の異なる複数のスペクトル線を有する光を入力して、該光の出力を検出する検出手段を有する分光計において、前記検出手段によって特定の波長のスペクトル線の出力を検出することができる程度の溝線数の溝が形成され、且つ低い回折次数で使用可能な第1の回折格子と、前記第1の回折光子における溝線数よりも少ない溝が形成され、且つリトロ配置で使用可能な第2の回折格子とを備え、前記第1の回折格子によって前記複数のスペクトル線のうちの特定の波長のスペクトル線を選択し、該選択されたスペクトル線の光を前記第2の回折格子によって回折次数が高次の回折光に回折することを特徴とする分光計。

Fターム (8件)：

2G020AA05 ,  2G020CB34 ,  2G020CB43 ,  2G020CC12 ,  2G020CC63 ,  2G020CD04 ,  2G020CD14 ,  2G020CD24