超音波アクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鎌田久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-275022
公開番号（公開出願番号）：特開平8-140377
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】安定した駆動が得られ、駆動力や駆動効率が向上し、性能の個体差を低減する。【構成】圧電体4、5に駆動振動により励振され、弾性体2、3にn次の縦振動とm次のねじり振動を生じさせ、駆動面Dに楕円運動が発生させ、弾性体2、3とこの弾性体2、3に接触された移動子6との間に駆動力が発生する構造において、n次の縦振動の共振周波数よりも、m次のねじり振動の共振周波数のほうが高くなる。

請求項（抜粋）：

電気エネルギーを機械エネルギーに変換し、駆動信号により励振される電気-機械変換素子と;前記電気-機械変換素子が接合され、その電気-機械変換素子の励振によりn次の縦振動とm次のねじり振動が生じることによって、駆動面に駆動力が発生する弾性体と;前記弾性体の駆動面に接触して、その弾性体との間で相対運動を行う相対運動部材と;前記電気-機械変換素子に駆動信号を出力する駆動回路と;を含む超音波アクチュエータにおいて、前記n次の縦振動の共振周波数よりも、前記m次のねじり振動の共振周波数のほうが高くなるようにしたことを特徴とする超音波アクチュエータ。

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