スクラバ洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上清子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-151178
公開番号（公開出願番号）：特開平8-318226
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】スクラバ洗浄装置において、ブラシを自動的に交換する。【構成】ブラシ(5)を先端に着脱自在に取付けたア-ム(1)を、モ-タ(3)により揺動可能に設けると共に流体圧シリンダ(7)により上下動できるようにする。上記モ-タ(3)によりア-ム(1)は、洗浄位置に動かされ、その位置でモ-タ(8)により上記ブラシ(5)を回転させてウエ-ハをスクラバ洗浄する。上記モ-タ(3)により、ア-ム(1)を洗浄位置から後退した位置に移動する。この後退位置には、複数のブラシ(5)がブラシ保持枠(25)に保持されて待機している。上記ア-ム(1)に取付けられたブラシ(5)は、保持枠(25)の保持溝(27)に差し込まれてア-ム(1)から外される。このア-ム(1)には、上記保持枠(25)に保持されている別のブラシが取付けられる。このような動作は、上記モ-タ(3)及び流体圧シリンダ(7)の操作により、自動的に行われる。

請求項（抜粋）：

洗浄位置で被処理物をスクラバ洗浄するよう移動可能に設けたア-ムの先端にブラシを着脱自在に取付け、該ア-ムを洗浄位置から後退させた位置に複数のブラシを保持するブラシ保持枠を設け、該ブラシ保持枠に上記ア-ムに取付けたブラシを外して保持すると共に該保持枠に保持されている他のブラシを上記ア-ムに装着するよう上記ア-ム若しくはブラシを交換駆動する手段を具備することを特徴とするスクラバ洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 1/04 , B08B 7/04 , H01L 21/304 341

FI (3件)：

B08B 1/04 , B08B 7/04 A , H01L 21/304 341 B

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