特許

J-GLOBAL ID：200903016829005076

縦型炉

発明者： 金子 隆
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-220454
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050627
出願日： 1996年08月02日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】縦型炉稼働時にウェーハにより近い位置で温度検出を可能とすると共に温度検出器の損傷を防止する。【解決手段】ボート15が乗載され炉口部を閉塞する炉口蓋8を貫通させて棒状の温度検出器13を設け、該温度検出器の上端をボートの天板16に支持させたものであり、温度検出器が下端、上端の2点で支持されたことで、温度検出器上端の位置が安定し、又経時的な変形が抑制され、ボートのロード時に温度検出器が他の構成物と干渉して損傷することが防止され、温度検出器をウェーハ6の極近傍に配置できウェーハの温度検出の精度が向上する。

請求項（抜粋）：

ボートが乗載され炉口部を閉塞する炉口蓋を貫通させて棒状の温度検出器を設け、該温度検出器の上端をボートの天板に支持させたことを特徴とする縦型炉。

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22 501 ,  G01K 1/14 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/22 501 ,  G01K 1/14 J ,  H01L 21/205