特許

J-GLOBAL ID：200903016829072911

ハンドリング用ロボットの制御方法

発明者： 杉村 俊輔
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 浜本 忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-089501
公開番号（公開出願番号）：特開平10-277973
出願日： 1997年04月08日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】 搬送台の旋回、突入、没入の一連動作のサイクルタイムを短縮できるようにする。【解決手段】 第1・第2の搬送台を旋回方向に位相をずらせて配置すると共に、この各搬送台をトランスファチャンバ内にて一体状に旋回すると共に、トランスファチャンバの周壁に設けたゲートを通って、トランスファチャンバと、これの周囲に設けたプロセスチャンバとに対して突入及び没入するようにしたハンドリング用ロボットの制御方法において、搬送台の突入動作と没入動作を旋回動作と共に行うようにした。

請求項（抜粋）：

第1・第2の搬送台を旋回方向に位相をずらせて配置し、この各搬送台をトランスファチャンバ内にて一体状に旋回すると共に、トランスファチャンバの周壁に設けたゲートを通って、トランスファチャンバと、これの周囲に設けたプロセスチャンバとに対して各搬送台を突入及び没入するようにしたハンドリング用ロボットの制御方法において、搬送台の突入動作と没入動作を旋回動作と重複して行うようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボットの制御方法。

IPC (3件)：

B25J 9/06 ,  B25J 18/02 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B25J 9/06 A ,  B25J 18/02 ,  H01L 21/68 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 移載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-232110   出願人：ソニー株式会社
• 特開昭61-136105
  

審査官引用 (3件)

• 移載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-232110   出願人：ソニー株式会社
• 特開昭61-136105
  
• 特開昭61-136105