特許
J-GLOBAL ID:200903016831789025

歪検出方法及び歪センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 後藤 洋介 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-251794
公開番号(公開出願番号):特開平8-114424
出願日: 1994年10月18日
公開日(公表日): 1996年05月07日
要約:
【要約】【目的】 電気的ノイズに影響されずまた周囲にノイズを放射することない,小型でかつ信頼性の高い歪検出法及び歪センサを提供すること。【構成】 基板1に光導波路2を設けた光導波路素子4を歪測定物に貼り付けて該光導波路に歪を生じさせ,この歪により光弾性効果により生じる屈折率の変化を,該光導波路を通る光波の変化により検知して歪測定物の歪みを検出する歪検出方法。装置として,光導波路を歪受容体になるのものと基準体になるものに2分し,一方の端部から光波を前記の2つの光導波路に入射し結合して他方の端部から出射して歪を検出する方式と,光導波路として歪受容体となるものを1つだけ用意し,一方の端部から半透過膜8を通して入射し,他方の端部で全反射膜9で全反射して前記の端部から出射して歪を検出する方式とがある。
請求項(抜粋):
光導波路を設けた基板を被歪測定物に貼り付けて該光導波路に歪を生じさせ,この歪によって光弾性効果により生じる屈折率の変化を,該光導波路を通る光の変化により検知して前記被歪測定物の歪みを検出することを特徴とする歪検出方法。

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