特許

J-GLOBAL ID：200903016833523472

圧電センサの製造方法

発明者： 浅野 勝吾 ,  福田 徹
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243488
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066318
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 構造が簡単であり、性能が高い圧電センサを、低コストで製造できる圧電センサの製造方法を提供する。【解決手段】 板厚方向と直交する方向に分極処理された板状の圧電体シート41の表面に電極材料を固着させ、この圧電体シート41と、一面側に互いに平行に配置された複数の長溝32を有し表層部が電気伝導性を有する材質から形成される板状の長溝板材42と、を接着剤により接着し、切断する。

請求項（抜粋）：

圧電体にせん断歪みを生じさせて前記圧電体の表面の検出電極から検出信号を取り出す圧電センサを製造する方法であって、一面側に互いに平行に配置された複数の長溝を有し少なくとも表層部が電気伝導性を有する材質から形成される板状の長溝板材と、板厚方向と直交する方向に分極処理された板状の圧電体シートと、を準備する準備工程と、前記圧電体シートの表面に電極材料を固着させる電極形成工程と、前記電極形成行程で表面に電極材料を固着した圧電体シートの一面側と前記長溝板材の前記一面側とを、接着剤により接着する接着工程と、前記接着工程で接着させられた圧電体シートと長溝板材とを、前記長溝板材の長溝方向に対して直交する方向と前記長溝板材の長溝の中心線上で切断する切断工程と、を含むことを特徴とする圧電センサの製造方法。

IPC (3件)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z