特許
J-GLOBAL ID:200903016833654186

電子部品または精密部品類の洗浄装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 羽鳥 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-120135
公開番号(公開出願番号):特開平6-328051
出願日: 1993年05月21日
公開日(公表日): 1994年11月29日
要約:
【要約】【目的】 コンパクトで排水負荷の小さな洗浄装置を提供すること。【構成】 下記(a)〜(d)を備えていることを特徴とする電子部品または精密部品類の洗浄装置。(a)洗浄対象物を洗浄する洗浄槽(b)加熱すると洗浄液層と水層とに分離する特性を有する洗浄液を貯液する洗浄液貯槽(c)すすぎ液又はすすぎ液と洗浄液との混合液を貯液するとともに、すすぎ液と洗浄液とを分離することが可能なすすぎ液貯槽(d)上記洗浄槽と上記洗浄液貯槽との間で洗浄液の送液と受液とを行う配管、及び上記洗浄槽とすすぎ液貯槽との間ですすぎ液の送液と受液とを行う配管
請求項(抜粋):
下記(a)〜(d)を備えていることを特徴とする電子部品または精密部品類の洗浄装置。(a)洗浄対象物を洗浄する洗浄槽(b)加熱すると洗浄液層と水層とに分離する特性を有する洗浄液を貯液する洗浄液貯槽(c)すすぎ液又はすすぎ液と洗浄液との混合液を貯液するとともに、すすぎ液と洗浄液とを分離することが可能なすすぎ液貯槽(d)上記洗浄槽と上記洗浄液貯槽との間で洗浄液の送液と受液とを行う配管、及び上記洗浄槽とすすぎ液貯槽との間ですすぎ液の送液と受液とを行う配管
IPC (4件):
B08B 3/14 ,  B05C 9/10 ,  B23K 1/00 ,  H05K 3/26
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平4-122480
  • 特開平4-243506
  • 特開2040-012576
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