特許
J-GLOBAL ID:200903016836011731
金、銀、又は銅の金属微粒子の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
田中 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-089942
公開番号(公開出願番号):特開平9-256140
出願日: 1996年03月21日
公開日(公表日): 1997年09月30日
要約:
【要約】【目的】基板表面上に蒸着法によって金、銀又は銅の金属微粒子を得るに際し、蒸着した金粒子同士の合体の進行を抑制して、固体基板上に均一に分散した金の微粒子を製造する方法を提供することを目的とする。【構成】基板表面上に蒸着法によって金、銀又は銅の金属微粒子を製造するに当たり、ヨウ素を存在させることを特徴とする金、銀又は銅の金属微粒子の製造方法である。
請求項(抜粋):
基板表面上に蒸着法によって金、銀、又は銅の金属微粒子を製造するに当たり、ヨウ素を存在させることを特徴とする金、銀又は銅の金属微粒子の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
C23C 14/14 D
, C23C 14/22 Z
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