特許

J-GLOBAL ID：200903016837433532

単結晶製造装置

発明者： 明石 義弘 ,  蔭山 輝男
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-153458
公開番号（公開出願番号）：特開2000-344591
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】 単結晶の上端部に形成したノブ部で単結晶を機械的に保持して引上げる場合に、その保持を確実にする。【解決手段】 単結晶10のノブ部12を把持して引上げる保持器6を、保持器本体8と把持ユニット9とで構成する。把持ユニット9は、保持器本体8内を水平方向に自由に移動し得るスライド板9aと、スライド板9a上に取付けられた複数の爪部材9b,9bとからなる。複数の爪部材9b,9bでノブ部12を把持する動作に伴い、把持ユニット9がノブ部12に対して芯合わせされるため、保持器6による結晶保持が確実なものとなる。

請求項（抜粋）：

CZ法により坩堝内の原料融液から単結晶を引上げる際に、育成結晶の上端部に、種絞り部より大径で且つ機械的な保持が可能な被係止部を形成し、この被係止部で育成結晶を機械的に保持して引上げる単結晶製造装置において、育成結晶の機械的な保持のために上昇及び回転を行う保持器本体内に、前記被係止部を周囲から把持する複数の爪部材をユニット化して取付け、そのユニットを保持器本体に対して水平方向へ移動自在としたことを特徴とする単結晶製造装置。

IPC (2件)：

C30B 15/00 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/00 Z ,  C30B 29/06 502 C

Fターム (8件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG12 ,  4G077EG13 ,  4G077EG14 ,  4G077EG27 ,  4G077PA01