特許

J-GLOBAL ID：200903016840020249

測定装置および測定方法

発明者： 蜂須賀 勝
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005117
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205816
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 床からの振動や、装置内部で発生する振動、雰囲気温度変化による熱変動といった外乱要因による、測定誤差要因があっても測定誤差を少なくすることができる測定装置とそれを備えた加工装置および測定方法を得る。【解決手段】 ベース1にアクティブ除振台15を介して補助体6を支持し、Zステージ3に設置された第一のミラー4と前記補助体6に設置された第一のレシーバ5の距離と、ワークスピンドル7に設置された第二のミラー4 ́と前記補助体6に設置された第二のレシーバ5 ́の距離を測長することにより、測定誤差を算出し、制御系(不図示)にフィードバックを行い、ワーク8の研削加工量を精度よく測定する。

請求項（抜粋）：

固定台と、前記固定台に取り付けられ一軸方向に往復運動する移動体と、前記移動体を一軸方向に動かすための駆動手段と、前記移動体の移動量を測定する測定手段と、前記駆動手段と前記測定手段とを制御する制御手段とを具備した測定装置において、前記固定台に弾性部材を介して保持される補助体と、前記移動体の移動方向と直交する平面に設置された第一の反射鏡と、前記反射鏡に対面するように前記補助体に設置された第一のレシーバと、前記固定台上で移動体の移動方向と直交する平面に設置された第二の反射鏡と、前記第二の反射鏡に対面するように前記補助体に設置された第二のレシーバと、第一の反射鏡と第一のレシーバの距離を測長する測定手段と、第二の反射鏡と第二のレシーバの距離を測長する測定手段とを具備することを、特徴とする測定装置。

Fターム (9件)：

2F065AA04 ,  2F065AA09 ,  2F065CC10 ,  2F065DD14 ,  2F065EE01 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065LL12 ,  2F065MM03