特許

J-GLOBAL ID：200903016857909274

光源装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 川原 信途
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-163633
公開番号（公開出願番号）：特開2002-359173
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 露光光を発生する光源装置のシャッタ反射光によるトラブルを防ぐ。【解決手段】 露光光を発生するランプ1は、集光ミラー2とともにランプ室3に収容され、モータ5によって回転するシャッタ羽根4はシャッタ室6に収容される。シャッタが閉じたときのシャッタ反射光によってシャッタ室6内が昇温するのを防ぐため、シャッタ反射光を導光管7によって、シャッタ室6の傍に配設された暗箱8内へ導き、その内部で拡散板8bによって拡散される。

請求項（抜粋）：

照明光を発生する光源と、前記照明光を選択的に遮光するシャッタと、前記照明光の光路の側傍に配設された暗箱と、前記シャッタが閉じたときのシャッタ反射光を前記暗箱に導くための導光手段を有する光源装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G02B 26/02 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G02B 19/00 ,  G02B 26/02 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 E

Fターム (12件)：

2H041AA04 ,  2H041AB02 ,  2H041AB05 ,  2H041AC01 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ01 ,  2H052BA01 ,  2H052BA06 ,  2H052BA12 ,  5F046CB05 ,  5F046CB06 ,  5F046CB22