スパッタリング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-072655
公開番号（公開出願番号）：特開2000-265266
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】スパッタチャンバの構造を簡単な構造で実現し、必要なスペースをできるだけ小さくし、スパッタチャンバの数の増大の要請に対しても簡素な構造および低コストで簡単に対応できるスパッタリング装置を提供する。【解決手段】複数の側面の各々にカソード25を備えたカソード回転体24が配置されるカソードチャンバ100と、複数の側面の各々に基板29を保持した基板回転体28が配置される基板チャンバ200と、カソードチャンバと基板搬送チャンバの間に設けられた1つのスパッタチャンバから構成される。カソード回転体と基板回転体をそれぞれ回転させてカソードと基板を対向させ、スパッタチャンバでスパッタ成膜が行えるようにする。スパッタチャンバを形成するスペース11はバルブ板15,16で仕切られ、他の領域から分離される。

請求項（抜粋）：

複数の側面の各々にカソードを備えたカソード回転体が中央に配置されるカソードチャンバと、複数の側面の各々に基板を保持した基板回転体が中央に配置される基板搬送チャンバと、前記カソードチャンバと前記基板搬送チャンバの間に設けられた1つのスパッタチャンバと、からなることを特徴とするスパッタリング装置。

IPC (3件)：

C23C 14/34 , G11B 5/85 , G11B 7/26

FI (3件)：

C23C 14/34 J , G11B 5/85 C , G11B 7/26

Fターム (13件)：

4K029BB02 , 4K029DA10 , 4K029DC16 , 4K029JA02 , 5D112AA24 , 5D112FA05 , 5D112FB18 , 5D112FB21 , 5D112FB24 , 5D112KK06 , 5D121EE03 , 5D121EE19 , 5D121EE20

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平3-158461
スパツタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-276891 出願人：沖電気工業株式会社

審査官引用 (2件)

特開平3-158461
スパツタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-276891 出願人：沖電気工業株式会社

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