特許
J-GLOBAL ID：200903016879268647
露光装置および方法ならびにデバイス製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-255090
公開番号（公開出願番号）：特開2007-067344
出願日： 2005年09月02日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】多層膜反射光学素子のルテニウム保護膜の酸化を低減する新規な技術を提供する。【解決手段】 露光光を用いて原版を介し基板を露光する露光装置を、露光光を反射する多層膜と多層膜の上に配されたルテニウム膜とを有し、露光光を反射する反射手段16,20,22と、反射手段を内包する真空容器2と、真空容器内を排気する排気手段28と、真空容器内にガス導入系30を介して水を供給し、真空容器内の水の量を調整する調整手段とを有するものとする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
露光光を用いて原版を介し基板を露光する露光装置であって、
前記露光光を反射する多層膜と前記多層膜の上に配されたルテニウム膜とを有し、前記露光光を反射する反射手段と、
前記反射手段を内包する真空容器と、
前記真空容器内を排気する排気手段と、
前記真空容器内に水を供給し、前記真空容器内の水の量を調整する調整手段と
を有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 531A
, G03F7/20 521
, H01L21/30 517
5F046AA22
, 5F046BA05
, 5F046CB02
, 5F046GA03
, 5F046GA07
, 5F046GB01
, 5F046GD07
, 5F046GD10
