露光装置およびデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122788
公開番号（公開出願番号）：特開平10-303115
出願日： 1997年04月28日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】スループットの向上、温度調性手段の排除、合せ不良の未然防止および後での検証の容易化を図る。【解決手段】露光装置において、露光される基板3の温度を測定するためのセンサ6aを設け、その測定温度に応じて、倍率補正手段9,10により投影光学系8の投影倍率を補正する。また、測定温度を記憶して、後の工程で発見される合せ不良の原因の究明に役立てる。また、測定温度が所定の許容範囲内にないときは、その旨を出力する。

請求項（抜粋）：

露光位置において基板を保持するステージおよびこのステージ上に前記基板を搬送するためのアームを有し、露光される基板の温度を測定するためのセンサが前記ステージ上あるいはアーム上に設けられていることを特徴とする請求項1記載の露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 E , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-164212
特開昭59-009916
特開昭63-001029

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