基板搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117336
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308436
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】装置全体の省スペース化が図れ、基板を収納するカセットの数あるいは一つのカセット内に収納する基板の数が増加してもイニシャルコストが増えることなく、カセット内の基板の有無を検出できる基板搬送装置を提供する。【解決手段】本発明は、少なくとも1枚のLCD基板1が収納されるカセット2内からLCD基板1を搬出するあるいはカセット2内にLCD基板1を搬入する移動可能なハンド8を有する基板搬送装置において、カセット2内のLCD基板1の角部1aを非接触で検知するように、互いに対向した一対の透過センサ9をハンド8に設けたものである。

請求項（抜粋）：

少なくとも1枚の基板が収納される収納容器内から基板を搬出するあるいは収納容器内に基板を搬入する移動可能な搬送手段を有する基板搬送装置において、収納容器内の基板の一部を非接触で検知するように、搬送手段に互いに対向して設けた1対の基板有無検出手段を具備することを特徴とする基板搬送装置。

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