特許
J-GLOBAL ID：200903016893089933
水晶振動子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-074569
公開番号（公開出願番号）：特開2007-251762
出願日： 2006年03月17日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
【課題】角速度が発生していないとき、振動脚に面外振動を生じない振動ジャイロ用の水晶振動子の製造方法を提供する。【解決手段】Zカット水晶板をウエットエッチング加工する水晶振動子の製造方法において、水晶振動子を構成する水晶振動片の外形形状を決めるための耐食膜パターンを-Z軸側の主表面のみに形成し、+Z軸側の主表面は全面を耐食膜で被覆する。水晶振動片は、基部に複数の振動脚を有し、振動脚の長手方向がY軸と平行に形成されるとともに、振動脚の先端側が-Y方向で基部側が+Y方向となることを特徴とする。また前記のY、Z軸に関する+-の符号を逆転した構成も可能である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水晶振動子を構成する水晶振動片であって基部と一体の複数の振動脚を有する水晶振動片を製造するに当たり、Zカット水晶板の一方の主表面に水晶振動片の外形形状を決めるための耐食膜パターンを形成し、他方の主表面は全面を耐食膜で被覆した状態でウエットエッチング加工を行って外形を形成する製造方法において、
振動脚の長手方向を前記Zカット水晶板のY軸と平行に形成して、振動脚の先端側を-Y方向、基部側を+Y方向とし、
前記Zカット水晶板の-Z軸側の主表面に水晶振動片の外形形状を決めるための耐食膜パターンを形成してエッチングすることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2F105AA01
, 2F105AA08
, 2F105BB08
, 2F105CC01
, 5J108MM11
