特許

J-GLOBAL ID：200903016893400485

四重極質量フィルタ

発明者： 竹部 雅博 ,  熊代 州三夫
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-120607
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293282
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 目的イオンの透過率を高める。【構成】 メインの四重極フィルタ11の直前にプレ四重極フィルタ12を配し、このプレフィルタ12に、メイン四重極フィルタ11に印加する[RF+DC]のうちの交流成分RFと、通過目的イオンの質量に応じて変化する直流バイアス電圧とを印加する。【効果】 目的イオンを質量に拘らずほぼ一定の速度でプレフィルタ12に入射させることができ、イオンのプレフィルタ通過時間のばらつきが抑えられる。

請求項（抜粋）：

中心軸に平行に4本の電極棒を軸対称に配置し、通過させるべき目的イオンの質量に応じた直流電圧及び交流電圧の重畳電圧を電極棒間に印加することにより目的イオンのみを中心軸方向に通過させる四重極質量フィルタにおいて、a)上記4本の電極棒の直前に、各電極棒と同軸に配置された同径の4本の電極棒から成るプレフィルタと、b)プレフィルタに上記交流電圧と、通過目的イオンの質量に応じて変化する直流バイアス電圧とを印加するプレフィルタ駆動回路と、を備えることを特徴とする四重極質量フィルタ。

IPC (2件)：

H01J 49/42 ,  G01N 27/62

FI (2件)：

H01J 49/42 ,  G01N 27/62 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-060856
  
• 特開昭48-011089
  
• 特開昭59-060856
  
• 特開昭48-011089