特許

J-GLOBAL ID：200903016900124863

光源装置及びそれを有する露光装置

発明者： 川原 信途
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-213542
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031465
出願日： 2001年07月13日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：

【要約】【課題】 露光装置に内蔵された光源装置において該光源部のシャッタ装置部の汚染によって発生する破損あるいは制御異常問題を解決し、長寿命で安定した光源装置及びそれを有する露光装置を得ること。【解決手段】 露光装置に内蔵された光源装置において該光源部のシャッタ装置部のシャッタ羽根の駆動モータ及び駆動モータ周辺部を隔離して囲み、該囲った部分に存在する汚染物質をモータを冷却する冷却媒体を用いて排除すること。

請求項（抜粋）：

光源から発せられた照明光の光路中に、シャッタ羽根を挿入・退避することによって照明光の遮光・投光の制御を行う光源装置であって、前記シャッタ羽根の駆動手段を遮光手段によって取り囲み、前記照明光が前記駆動手段に照射されることを防止すると共に、前記遮光手段によって形成された空間の内部にケミカルクリーンな冷媒を導入する導入手段を更に具備することを特徴とする光源装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 A ,  H01L 21/30 516 F

Fターム (3件)：

5F046CA10 ,  5F046CB06 ,  5F046DA26