特許
J-GLOBAL ID：200903016903293453
質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-357907
公開番号（公開出願番号）：特開平5-174783
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 質量分析で多種質量イオン混合ビームから質量走査をしないで一度に質量スペクトルを測定する。【構成】 一定電圧で加速したイオンビームをパルス状に変調して放出して放出点から離れた位置に配置された偏向電極7の間を通過させ、この電極に上記したイオンビームのパルス変調と同期して鋸歯状の電圧を印加し、この鋸歯状に変化する電場へのイオンの到達時刻の差で、重いイオン程強い電場の作用を受けることで分散されたイオンビームを位置分解能を有するイオン検出器8で検出する。
請求項（抜粋）：
一定加速電圧で加速されたイオンビームをパルス変調して放出させる手段と、このパルス変調されたイオンビームをはさんで対向させた偏向電極と、この電極間を通過したイオンを検出する位置分解能を有するイオン検出器と、上記イオンビームのパルス変調と同期させて上記偏向電極間に鋸歯状電圧を印加する手段とよりなる質量分析装置。
IPC (2件)：
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