XYステージ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-191040
公開番号（公開出願番号）：特開平7-046818
出願日： 1993年08月02日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】ガイドレス平面ステージを3つのアクチュエータで駆動することにより、2軸ステージを軽量高剛性化し、高速化を図る。【構成】ベース1と、ベース1上にベース1の面と平行な平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように2次元空気軸受け2にて支持された移動テーブル3と、移動テーブル3にその合力がベース1の面と平行な平面内で直交方向及び回転方向に作用するように配置した3個のボイスコイルモータ4,5,6と、移動テーブル3のY方向移動範囲に渡る長さの目盛りをX方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成されるリニアスケール7及びX方向移動範囲に渡る長さの目盛りをリニアスケール7方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成されるリニアスケール8,9,とを含んで構成される。

請求項（抜粋）：

ベースと、前記ベース上にベース面と平行な平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように支持された移動テーブルと、前記移動テーブルに作用しその合力がベース面と平行な平面内で直行方向及び回転方向に発生するように配置したN個(N≧3)のアクチュエータと、前記移動テーブルの位置及び姿勢を測定する計測手段と、前記計測手段からの情報を基にN個のアクチュエータを駆動する制御部とを含むことを特徴とするXYステージ。

IPC (5件)：

H02K 41/02 , B25J 9/02 , B25J 9/10 , B65H 5/04 , G05D 3/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

特公昭58-501931
特開昭61-293149

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