特許

J-GLOBAL ID：200903016913848410

電界放出型冷陰極装置およびその製造方法

発明者： 岡本 明彦 ,  小沼 和夫
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-213721
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133117
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 実験的な試行錯誤をすることなく、簡便な方法によって、良好な電子ビームの放出・収束が可能な電界放出型冷陰極装置を提供する。【解決手段】 尖鋭な先端形状をもつ複数のエミッタと、エミッタ群の上方近傍に設けられたゲート電極とを備えた電界放出冷陰極素子と、エミッタ群から放出された電子ビームを収束するレンズ電極と、収束された電子ビームが照射されるターゲットを有する電界放出型冷陰極装置の製造において、エミッタ群の専有する領域の面積を特定の関係式を用いて最適サイズに設定する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された尖鋭な先端形状をもつ複数のエミッタと、該エミッタ群のそれぞれの先端から電子を放出させるための開口部が形成され該エミッタ群の上方近傍に設けられたゲート電極とを備えた素子であって、該ゲート電極にエミッタよりも正の電圧を印加することによりエミッタ群から電子ビームを放出する電界放出型冷陰極素子と、該エミッタ群から放出された電子ビームを収束するレンズ電極と、該レンズ電極により収束された電子ビームが照射されるターゲットを有する電界放出型冷陰極装置において、エミッタを基準として、ゲート電圧をVg、エミッタ直上部のレンズ電極1の電圧をVg1、使用電流をI、ゲート電極とレンズ電極1との距離をL、電子の質量をm、電子の電荷をe、真空誘電率をe0としたとき、エミッタ群の専有する領域の面積Sが、9・I・L2/{4・e0(2e/m)1/2・(Vg1/2+Vg11/2)3}以上であることを特徴とする電界放出型冷陰極装置。

IPC (3件)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 1/30 F ,  H01J 9/02 B ,  H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電子ビーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-113310   出願人：日本電気株式会社