特許
J-GLOBAL ID：200903016919922540
希ガスの精製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-288478
公開番号（公開出願番号）：特開平6-135707
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】希ガス中に不純物として含まれる窒素、炭化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、酸素、水素、水蒸気などを除去し高純度の希ガスを得る。【構成】不純物を含有する希ガスをジルコニウム、バナジウムおよびタングステンからなる三元合金ゲッター材と加熱下に接触させる。
請求項（抜粋）：
希ガスをジルコニウム、バナジウムおよびタングステンからなる三元合金のゲッター材と加熱下に接触させて、該希ガス中に含まれる不純物を除去することを特徴とする希ガスの精製方法。
IPC (4件)：
C01B 23/00
, B01D 53/02
, B01D 53/14
, B01J 20/02
