特許
J-GLOBAL ID：200903016927151056
有機溶液の回転塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-117168
公開番号（公開出願番号）：特開平5-310412
出願日： 1992年05月11日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】有機溶液を回転塗布する際、塗布膜の欠陥を低減し、膜厚が均一な塗布膜を製作する。【構成】有機溶媒が蒸発することによって固体を生じる有機溶液11を回転塗布する装置において、単結晶ダイヤモンドやサファイヤ等の低発塵材料や多結晶ダイヤモンド膜又は硬質炭素膜等の低発塵材料膜33の部材でスピナ1を製作する。
請求項（抜粋）：
被塗布物を載せるスピナ、前記被塗布物を前記スピナに保持する保持装置、前記スピナを回転させる回転装置及び前記被塗布物上部より有機溶液や塗布液を滴下する滴下装置からなり、前記有機溶液や前記塗布液を前記被塗布物に塗布する回転塗布装置において、前記被塗布物と接触する前記スピナに、低発塵材料を用いたことを特徴とする有機溶液の回転塗布装置。
IPC (3件)：
C01B 33/12
, B05C 11/08
, H01L 21/31
