特許
J-GLOBAL ID：200903016928796603
プローブカード
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-022463
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218222
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【課題】 高周波における伝送特性を改善する。【解決手段】 プローブカードは探針3a〜3dとプリント配線板2とリング状の保持台4で構成される。保持台4の探針を保持する側のリング状の面は、内周に近付くほどプリント配線板2より離れるテーパ面とされ、そのテーパ面4aの内周縁の近傍に、一段突出したリング状の絶縁性突起4bが形成され、その突起により探針が支持される。テーパ面4aにアース板12が形成される。高周波信号用の探針3aは同軸型構造とされ、その外部導体15は導電性接着剤16によりアース板12に接続される。電源用の探針3cはμチップコンデンサ21を通じてまたグランド用の探針3dは導電性接着剤16によりそれぞれアース板12に接地される。探針3c,3dはそれぞれアース板12に接地されるので、実効的な長さが短くなってそのインダクタンス分が小さくなると共にマイクロストリップ線路構造が形成される。
請求項（抜粋）：
複数の探針と、それらの探針にそれぞれ接続された配線パターンを有するプリント配線板と、そのプリント配線板に取付けられ、前記探針を保持するリング状の保持台とを具備するプローブカードにおいて、前記保持台の前記探針を保持する側のリング状の面は、内周に近付くほど前記プリント配線板より離れるテーパ面とされ、そのテーパ面の内周縁の近傍に、一段突出したリング状の絶縁性突起が形成され、その突起により前記探針が支持され、前記保持台の前記テーパ面に、前記突起を除いて、アース板が形成され、前記探針の内、特に高周波信号用の探針は、同軸型構造とされ、その外部導体が前記アース板に接続されていることを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
