特許
J-GLOBAL ID:200903016928998001
圧電型振動センサ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-293461
公開番号(公開出願番号):特開平6-148011
出願日: 1992年10月30日
公開日(公表日): 1994年05月27日
要約:
【要約】【目的】 高温条件下でも優れた耐久性を有するとともに、量産が可能である圧電型振動センサを提供する。【構成】 台座4に台座側電極5と圧電体6と荷重体側電極7と荷重体8を順次積層してなる検知部1と、この検知部1を収納するパッケージ2と、そのパッケージ2と前記検知部1との間に配設され、前記検知部1の積層体を押圧する方向の付勢力を有する弾性体3とからなる圧電型振動センサ。
請求項(抜粋):
台座に台座側電極と圧電体と荷重体側電極と荷重体を順次積層した積層体からなる検知部と、この検知部を内部に収納するパッケージと、このパッケージと前記検知部との間に配設され、前記検知部の積層体を押圧する方向の付勢力を有する弾性体からなることを特徴とする圧電型振動センサ。
IPC (3件):
G01L 9/00
, G01L 9/08
, H01L 41/09
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