特許

J-GLOBAL ID：200903016933849227

X線検出器およびその製造方法

発明者： 堀内 弘 ,  會田 博之
出願人/特許権者： 東芝電子管デバイス株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (2件)： 樺澤 襄 ,  樺澤 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-233022
公開番号（公開出願番号）：特開2006-054232
出願日： 2004年08月10日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：

【課題】X線を電気信号に変換するX線光導電層4の均一性および成膜性を改善できるX線検出器1を提供する。 【解決手段】アクティブマトリクス基板3の画素電極9が設けられた表面に、その表面を平坦化する平坦化層28,29を形成する。平坦化層28,29上にX線光導電層4を形成し、X線光導電層4上にバイアス電極層5を形成する。画素電極9上に設ける平坦化層28は、導電性材料とする。平坦化層28,29上に設けるX線光導電層4の均一性および成膜性を改善し、解像度特性などを向上させる。 【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の画素電極を備えた回路基板と、 この回路基板の画素電極が設けられた表面に設けられその表面を平坦化する平坦化層と、 この平坦化層上に設けられX線を電気信号に変換するX線光導電層と、 このX線光導電層上に設けられた電極層と を具備していることを特徴とするX線検出器。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  G01T 1/24 ,  H01L 31/09

FI (3件)：

H01L27/14 K ,  G01T1/24 ,  H01L31/00 A

Fターム (30件)：

2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ37 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA14 ,  4M118CA32 ,  4M118CB05 ,  4M118CB14 ,  4M118FB03 ,  4M118FB09 ,  4M118FB13 ,  4M118FB16 ,  4M118FB23 ,  4M118FB25 ,  5F088AA11 ,  5F088BA18 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088CB06 ,  5F088CB07 ,  5F088CB15 ,  5F088DA05 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088FA11 ,  5F088LA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• X線検出器及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-008286   出願人：株式会社東芝