特許

J-GLOBAL ID：200903016934423754

感光性組成物

発明者： 川村 浩一 ,  滝田 敏 ,  川村 芳孝 ,  秋山 慶侍
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-183022
公開番号（公開出願番号）：特開平7-036184
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】少なくとも1つの下記一般式〔I〕で示される重合単位を重合して得られる高分子化合物と、ポジ型に作用する感光性物質とを含有することを特徴とする感光性組成物。式中、Aは、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表わし、Xは、酸素原子、NH、又はN-R5 (ここでR5 はアルキル基を示す)を表わし、R1 、R2 、R3 、及びR4 は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、置換アルキル基、芳香族基、置換芳香族基、等を表わす。【効果】比較的低いpHを有するアルカリ水溶液でも現像でき、かつまた現像条件の変動による画像形成性の変化の少ない良好なポジ画像を与える。高耐刷性の平版印刷版、及び基板に対する密着性が良く、柔軟な皮膜を与えるIC回路やフオトマスクの製造に適する感光性組成物を提供する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの下記一般式〔I〕で示される重合単位を重合して得られる高分子化合物と、ポジ型に作用する感光性物質とを含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】式中、Aは、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表わし、Xは、酸素原子、NH、又はN-R5 (ここでR5 はアルキル基を示す)を表わし、R1 、R2 、R3 、及びR4 は、各々独立して、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基、-OR6、-OCO-R7 、-NHCO-R8、-NHCONHR9 、-OCONH-R10、-COOR11 、-CONHR12、-COR13、-CONR14R15、-CN 、もしくは-CHO基を表すか、又は、R1 、R2 、R3 、及びR4 は、そのうちの2個が結合して環を形成してもよく、R6 〜R15はアルキル基、置換アルキル基、アリール基、又は置換アリール基を表わす。但し、R1 、R2 、R3 、及びR4 の内の少なくとも1つは水素原子以外の基を示す。

IPC (4件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-068946