特許
J-GLOBAL ID：200903016936090540
単結晶引上げ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小堀 益
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074661
公開番号（公開出願番号）：特開平6-298592
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：
【要約】【目的】 引上げ単結晶の周囲を取り囲む輻射熱遮断材に、引上げ後の単結晶の部位によって温度調整を行う機能を効率的に具備させる。【構成】 引上げ域を含み引上げ単結晶の周囲を取り囲んで形成した輻射熱遮断構造を有する単結晶引上げ装置において、前記輻射熱遮断構造を水平あるいは厚み方向に分割して断熱材の充填用分割室とし、且つ各分割室における断熱能を可変とした。引上げ単結晶の高さレベルにおける温度制御が可能となり、引上げ単結晶の各部位における必要な温度勾配制御を行うことができる。
請求項（抜粋）：
引上げ域を含み引上げ単結晶の周囲を取り囲んで形成した輻射熱遮断構造を有する単結晶引上げ装置において、前記輻射熱遮断構造を水平あるいは厚み方向に分割して断熱材の充填用分割室とし、且つ各分割室における断熱能を可変とした単結晶引上げ装置。
IPC (3件)：
C30B 15/14
, C30B 15/00
, H01L 21/208
