特許
J-GLOBAL ID:200903016939022340

コーティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 澤木 誠一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-188695
公開番号(公開出願番号):特開平7-019806
出願日: 1993年07月02日
公開日(公表日): 1995年01月20日
要約:
【要約】【目的】 本発明の目的はセラミックス等のコーティングの厚さまたは材質変化をコーティングを破壊することなく測定できる方法及び装置を得るにある。【構成】 コーティングの2点間に周波数を変えながら所定の電圧を印加し、この電圧の印加されたコーティング部分の2点間の電位差を検出すると共に、上記電圧、周波数及び電位差からコーティングの厚さまたは材質に関するインピーダンスの周波数軌跡を求め、厚さまたは材質の既知のものの上記インピーダンスの周波数軌跡をメモリしておき、被測定コーティングのインピーダンスの周波数軌跡をメモリ内のものと比較してその厚さまたは材質を検知するコーティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置。
請求項(抜粋):
コーティングの2点間に可変周波数の交流電圧を印加するための電圧印加電極と、この電極間における上記コーティングの2点間の電位差を検出するための検出電極と、上記印加電圧、周波数および電位差から上記コーティングの厚さに関するインピーダンスの周波数軌跡を演算する演算回路と、この演算回路によって求めた各厚さ毎のインピーダンスの周波数軌跡を記憶するメモリと、被測定コーティングの厚さについて求めたインピーダンスの周波数軌跡を上記メモリ内のものと比較する比較器とより成ることを特徴とするコーティングの厚さ変化測定装置。
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭60-121300

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