特許
J-GLOBAL ID：200903016940867010
石英系光導波路及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-322903
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157925
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】 方向性結合器等の再現性に優れた回路特性を有する石英系光導波路を製造する。【構成】 基板11上にFHD法によりホウ素やリンのドーパントを含むと共に純粋石英ガラスと同屈折率を有する石英系ガラスからなる第一下側クラッド膜12を形成し、次に、ECR堆積法、CVD堆積法又はスパッタ堆積法により純粋石英ガラスからなる第二下側クラッド膜13を形成し、この上にコア部15、16及び上側クラッド膜14を形成し、且つ第一下側クラッド膜12の膜厚を第二下側クラッド膜13より大きくする。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に形成された石英系ガラスからなる下側クラッド膜と、石英系ガラスからなると共に前記下側クラッド膜上に形成されて光伝搬作用を有するコア部と、石英ガラスからなると共に前記コア部を埋め込む上側クラッド膜とからなる石英系光導波路であって、前記下側クラッド膜が、ホウ素やリンからなるドーパントを含むと共に純粋石英ガラスと同屈折率を有する石英系ガラスからなる第一下側クラッド膜と、該第一下側クラッド膜の上側に設けられると共に石英ガラスからなる第二下側クラッド膜との二層構造であり、且つ、前記第一下側クラッド膜の膜厚が下側クラッド膜全体の膜厚の50%以上を占めていることを特徴とする石英系光導波路。
IPC (3件)：
G02B 6/12
, C03B 37/018
, G02B 6/28
