特許
J-GLOBAL ID：200903016942648722
UHF帯基本波ATカット水晶振動素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-010940
公開番号（公開出願番号）：特開2005-204253
出願日： 2004年01月19日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 凹陥部を形成することによって超薄肉振動部を設け、両面に部分電極を形成する極超短波振動素子において、-40°C〜+85°Cにおける共振周波数偏差が±50ppm以下となるように、電極膜材料と超薄肉振動部の厚みに対する両面電極膜厚を規定したUHF帯基本波ATカット水晶振動素子及びUHF帯基本波ATカット水晶フィルタを提供する。【解決手段】 水晶基板1の一方の面の一部をエッチング等の手法によって掘り下げて凹陥部5aを形成することによって、凹陥部5aの底部に超薄肉振動部5を形成したものである。この超薄肉振動部5を振動部として利用するために、凹陥部5aを有する面には部分的に部分電極6と、部分電極6より基板端縁に向けて延出したリード電極8及び外部接続用のパッド電極7を形成する共に、他方の平坦な面上には2つの部分電極2と、部分電極2より基板端縁に向けて延出したリード電極3及び外部接続用のパッド電極4を形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ATカット水晶基板の少なくとも一方の主面の一部に凹陥部を形成することによって該凹陥部の底部に超薄肉振動部を設け、該超薄肉振動部の両面に部分電極を形成することにより300MHz以上の基本波振動を得るATカット水晶振動素子であって、少なくとも前記部分電極の膜材料に金を主材料として用いると共に、前記超薄肉振動部の厚みをTとし、超薄肉振動部における両面の部分電極をATカット水晶材料の密度に換算した膜厚をtxとしたとき、tx/Tが、0.4以下となるように設定されていることを特徴とするUHF帯基本波ATカット水晶振動素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108CC09
, 5J108CC11
, 5J108CC12
, 5J108DD02
, 5J108FF05
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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