特許
J-GLOBAL ID：200903016947778454
透過型電子顕微鏡の薄膜試料作製用電解研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
齋藤 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-085862
公開番号（公開出願番号）：特開平7-276143
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：
【要約】【目的】 透過型電子顕微鏡で観察できるよう合金試料を電解研磨法により薄膜試料とする装置で、試料が電解研磨液中に溶出する金属イオンに基づくジュール熱で昇温し、薄膜試料の酸化等による観察障害が発生するのを防止する。【構成】 一対の試料ホルダ3dにセットした試料Aの表裏両面に、冷却用外槽1aの冷媒1bで冷却された電解研磨液2bを、ジェット駆動部3cのジェット噴射金属管3bから噴当すると共に、試料Aに当接した電極3eとジェット噴射金属管3b間に直流電圧を印加する。冷却用内槽2a内の電解研磨液2bを、送出用ポンプ2cにより送流金属管5に循環回流させ、この送流金属管5を、上記の電極3eに当接することで、これに当接の試料Aを冷却し、これにより、その昇温を抑止する。
請求項（抜粋）：
冷却用外槽と、これに収納した冷媒を冷却する冷却器とからなる冷却部と、上記冷媒中に浸漬された冷却用内槽と、これに収納した電解研磨液の送出用ポンプとからなる電解研磨液冷却部と、上記電解研磨液中に浸漬された電解研磨用基体と、これに設けられた一対のジェット噴射金属管付きのジェット駆動部と、試料を挟持自在とした一対の試料ホルダと、当該試料に当接して導通の電極とを有し、かつ、当該電極とジェット噴射金属管との間に直流電圧を印加して、前記の電解研磨液を、各ジェット駆動部の稼動によりジェット噴射金属管のノズルから、各試料ホルダの通孔を介し、前記試料の表裏両面に噴当して、当該電解研磨液を循環可能とした電解研磨部とを具備し、前記送出用ポンプの送流金属管を、前記各試料ホルダ間に配装して、試料に導通の前記電極に当接すると共に、当該送出金属管の流出端を、前記の冷却用内槽に開口するようにしたことを特徴とする透過型電子顕微鏡の薄膜試料作製用電解研磨装置。
IPC (4件)：
B23H 3/00
, B23H 3/10
, G01N 1/28
, G01N 1/32
